TSP鈦升華泵和NEG泵可以獨(dú)立使用或者與離子泵組合獲得超高真空真空/極高真空環(huán)境。與離子泵組合可以使系統(tǒng)在更短的時間內(nèi)達(dá)到超高真空

性能：

全系列無振動、免維護(hù)的鈦離子泵、鈦升華泵 (TSP) 和非蒸發(fā)型吸氣劑(NEG) 泵，可在超高真空中實現(xiàn)出眾的極限壓力。

在超高真空下具有高抽速

無烴真空

長時間運(yùn)行

整體解決方案

抽速 0.2 - 1200 l/s

極限真空 < 1 x 10-11mbar